Struktur och arbetsprincip för diffus kiseltrycksgivare

Struktursammansättning av diffus kiseltrycksgivare

Sedan utgången från trycksensornUPX19är en icke-standard signal, i praktiska tillämpningar, för att göra sensorn universell och underlätta signalöverföring och inspelning, används sensorn tillsammans med en standard signalingångskrets för att mata ut en standardsignal. Sensorn som matar ut standardsignalen vid den här tiden kallas för tryckgivareUPB13.

Kort sagt utvecklas sändaren gradvis från sensorn. Den diffusa kiseltrycksändaren som studeras i detta dokument består huvudsakligen av MEMS-sensor, mätkapsel, gränssnitt och bearbetningskrets (smart kretskort).

Trycksensorn och diodtemperatursensorn är förpackade på toppen av mätkapseln, och kapselkroppen kläms fast av två tätningsflänsar för att bilda mätdelen av sändaren, som är ansvarig för att omvandla den trycksignal som ska mätas vid arbetsplatsen till en spänningssignal. Dessutom utgör ett elektroniskt kretskort, ett skärmhuvud för flytande kristaller och en anslutningsterminal bildskärmsdelen, som ansvarar för att omvandla spänningssignalen från sensorn till 4-20mA genom förstärkning och sedan mata ut en standardströmsignal.

Arbetsprincip för diffus kiseltrycksgivare

Baserat på den piezoresistiva effekten av monokristallint kisel tillverkas en elastisk komponent i en viss riktning på kiselskivan med avancerad mikroelektromekanisk bearbetningsteknik, och fyra kraftkänsliga motstånd med samma motstånd tillverkas av integrerad kretsteknik i rätt läge, som ansluter till en Wheatstone-bro. En konstant spänning (ström) appliceras på bryggan och det uppmätta trycket överförs till kiselchipet genom silikonoljan förseglad i mätkapseln utan förlust, sedan sänder sändaren ut en spänningssignal linjärt proportionell mot trycket som ska mätas, och sedan förstärks spänningssignalen och omvandlas till en två-tråds standardsignal genom elektroniska kretsar.

För att sammanfatta:

Det kan vara känt från dess arbetsprincip att trycksensorn är en viktig del av tryckgivarenUPB1, och sändarens huvudsakliga källa till temperaturdrift är kiseltrycksensorns temperaturdrift. Den aktuella forskningen om temperaturdriftkompensation för kiseltrycksgivare är också huvudsakligen inriktad på kiseltrycksensorer.

För mer information, vänligen kontaktaQi Huang